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詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳RBSV系列是一款長行程，百納米級定位精度的精密平升Z軸運動臺，具有納米級微動步距，百納米級定位精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，應(yīng)...

詳細(xì)摘要： RBN150系列是一款納米級精度的精密Z軸，具有納米級微動步距，百納米定位精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，應(yīng)用于微納加工、測試測量及光纖對準(zhǔn)等領(lǐng)域。